【仅硬币大小！我国科学家打造卫星激光通信“超强心脏”】中国科学院上海微系统与信息技术研究所成功研发出高性能MEMS快反镜，如同卫星激光通信"数字生命体"的"精密心脏"，精准调控光束确保星间通信的"生命信号"不中断。
该器件突破传统机械镜体积大、迟滞和原有MEMS镜面小、带宽低、无传感的瓶颈。采用"复合骨骼"般的双层异构集成技术，实现大镜面、小封装，并集成高灵敏度角度传感器。
受手机屏按压启发，利用硅压阻原理创新设计"应力集中区"，将传感器灵敏度大幅提升63%，如同赋予"超人听力"，能分辨1000公里外0.3米的变化（0.3μrad）。
为确保信号"毫发无损"，团队对镜面动态形变进行"全维度体检"。在500Hz工作频率下，精度达±2mrad，最大动态表面形变仅2纳米——相当于足球场镜面起伏不超过一根发丝！
这满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求，在航空航天领域具有重要的应用前景。未来团队将继续优化镜面尺寸、闭环控制及可靠性。中国科普博览
