$北方华创(SZ002371)$北方华创的首款12英寸电镀设备（ECP）——A

凡梦说娱乐 2025-05-26 13:02:03

$北方华创(SZ002371)$ 北方华创的首款12英寸电镀设备（ECP）——Au­s­ip T830，专为硅通孔（TSV）铜填充设计，主要应用于2.5D/3D先进封装领域。电镀作为物理气相沉积（PVD）的后道工艺，其设备与PVD设备协同工作，广泛应用于逻辑、存储、功率器件、先进封装等芯片制造工艺。在工艺流程中，PVD设备首先在槽/孔内形成籽晶层，随后电镀设备将槽/孔填充至无空隙。

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