【中国研发离子注入机以减少对海外芯片供应商的依赖】(有趣工程)中国在半导体技术领域取得了重大进展,开发出一种高度先进的“微型手术刀”,可以缓解其芯片供应链中的关键瓶颈。周六,中国原子能科学研究院宣布研制出中国首台高能氢离子注入机POWER-750H,并声称其性能达到国际领先水平。离子注入机在某些半导体制造工艺中发挥着至关重要的作用,它利用加速离子将精确数量的材料注入硅片中。专家表示,掌握这项技术对于中国推进高科技芯片的国产化、减少对外国供应商的依赖至关重要。——利用核技术专长掌握高能离子注入技术据中国原子能科学研究院称,多年来,中国完全依赖进口高能氢离子注入机,国外的技术限制和市场垄断制约了国内发展。据《南华早报》报道,凭借数十年来在核物理和加速器技术领域的经验,该研究所现已掌握串列加速器技术,实现了完全自主的设计能力。这一突破涵盖了从基本原理到系统集成的所有阶段,使中国能够自主生产串列式高能氢离子注入机,并减少对海外供应商的 依赖。专家表示,这标志着中国在加强半导体制造基础设施方面迈出了重要一步。此外,自主研发高能离子注入机也极大地提升了中国半导体自主生产能力,增强了中国在不依赖外国技术的情况下生产关键零部件的能力。与此同时,掌握离子注入技术已成为中国的一项战略重点,因为该技术被认为是半导体制造的“四大核心工具”之一。然而,开发此类先进设备需要克服诸多重大技术挑战。——先进离子注入机研发的关键障碍芯片生产对精度和稳定性要求极高,对于离子注入工艺而言,这意味着要在纳米甚至原子尺度上控制多个参数。实现这种程度的控制对于生产高性能芯片、减少对进口技术的依赖至关重要,也有助于中国提升本土半导体能力。在离子注入过程中,离子会改变硅晶片特定区域的电学特性。能量越高的离子束穿透力越强,能够形成芯片内部的结构,例如晶体管和二极管,从而实现芯片的正常工作。如果离子束不稳定,芯片的性能就会受到影响,而设备必须能够长时间可靠运行才能满足工业需求。与光刻机不同,离子注入机并非用于所有芯片,但对于某些应用来说至关重要,例如节能半导体和高质量图像传感器,因为精度直接影响性能和输出。过去十年,中国不断强化半导体产业,构建了更加独立的供应链。先进微加工设备公司的蚀刻设备应用于5纳米芯片生产,上海微电子设备有限公司则为数据中心芯片提供封装光刻系统。海思半导体等公司生产世界一流的移动系统芯片,国内企业在电子设计自动化软件领域的市场份额也在稳步增长,共同助力中国构建更加完善的半导体生态系统。

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