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映日科技申请α - IGO靶材相关专利,掺杂元素提升IGO靶材薄膜性能及迁移率

1月14日消息,国家知识产权局信息显示,芜湖映日科技股份有限公司申请一项名为“显示领域的半导体氧化物α-IGO靶材及其应用方法”的专利。申请公布号为CN121318387A,申请号为CN202511391027.2,申请公布日期为2026年1月13日,申请日期为2025年9月26日,发明人曾墩风、王志强、方月、曾探,专利代理机构南京正联知识产权代理有限公司,专利代理师张凯,分类号C04B35/01、H10D30/01、H10D30/67、C23C14/34、C23C14/08、H01J37/34、C04B35/622。

专利摘要显示,本发明涉及靶材技术领域,提供一种显示领域的半导体氧化物α‑IGO靶材及其应用方法,以氧化铟的高迁移率与氧化镓的高稳定性为基体,在不同氧化铟与氧化镓比例中,通过少量的两者离子半径之间的离子半径金属元素掺杂,在引入载流子浓度的同时,使得主元素间结晶时,离子半径的过渡更加舒畅,减少因离子半径差异造成晶格错位而导致的缺陷的形成,从而进一步稳定薄膜迁移率;通过引入稀土氧化物宽禁带材料,以提高薄膜光学性能;进一步的,通过引入具有较强耐腐蚀性能的Al3+、Sn4+元素,以提高波薄膜的耐腐蚀性能,提高薄膜在应用过程中的耐腐蚀性,并通过顶栅结构薄膜晶体管的性能测试,最终迁移率可达25‑55cm2/V·s。

天眼查数据显示,芜湖映日科技股份有限公司成立日期2015年8月21日,法定代表人张兵,所属行业为其他制造业,企业规模为小型,注册资本8940.0276万人民币,实缴资本8940.0276万人民币,注册地址为中国(安徽)自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房。芜湖映日科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目19次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息214条,拥有行政许可37个。

芜湖映日科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1显示领域的半导体氧化物α-IGO靶材及其应用方法发明专利公布CN202511391027.22025-09-26CN121318387A2026-01-13曾墩风、王志强、方月、曾探2显示领域高性能半导体氧化物IGGXO靶材及其应用方法发明专利公布CN202511338864.92025-09-18CN121292941A2026-01-09曾墩风、方月、王志强、曾探3一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法发明专利公布CN202511029821.22025-07-25CN120518390B2025-09-26曾墩风、王志强、曾探、鄢波、陈光园4一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202511029821.22025-07-25CN120518390B2025-09-26曾墩风、王志强、曾探、鄢波、陈光园5一种AgPdCu合金的溅射靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510835426.72025-06-20CN120719260A2025-09-30张信征、曾墩风、方亮、屈一鸣6高迁移率半导体IGZTO靶材及其有源层制备工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510792508.82025-06-13CN120624996A2025-09-12曾墩风、王志强、方月、刘兴龙7高密度低电阻率ZTO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510767746.32025-06-10CN120590159A2025-09-05曾墩风、王志强、于庆萍8一种低电阻高透过无铟靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510718009.42025-05-30CN120535303A2025-08-26曾墩风、于庆萍、王志强、曾探、方月9高透过率管状氧化物靶材的复合梯度烧结成型方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510693435.72025-05-27CN120574037A2025-09-02曾墩风、鄢波、王志强、曾探、方月10使用具有氧化锡的承烧板的高阻氧化物靶材垫烧烧结方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510650829.42025-05-20CN120574052A2025-09-02王志强、曾墩风、鄢波、闫清龙11一种大幅减少ITO旋转靶材烧结底部变形的垫烧方式发明专利实质审查的生效、公布CN202510632784.82025-05-16CN120483678A2025-08-15王志强、武炳、曾墩风、徐军伟、马建保12一种旋转靶内圆及端面加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510620787.X2025-05-14CN120395594A2025-08-01武炳、徐军伟、王志强、马建保13一种离子注入掺杂IGZO薄膜的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510584090.12025-05-07CN120555963A2025-08-29王志强、曾墩风、鄢波、曾探14一种低结瘤高薄膜良率的新型氧化铟锡靶材及其制备方法发明专利公布CN202510567704.52025-04-30CN120289173A2025-07-11曾墩风、方月、王志强、曾探、陈光园15一种高纯度高致密度GZO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510531506.32025-04-25CN120423869A2025-08-05曾墩风、王志强、曾探、鄢波16一种旋转靶磨外圆的装夹气动工装发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510507161.82025-04-22CN120326527A2025-07-18武炳、徐军伟、王志强、马建保17一种低色差高密度的IZO靶材制备工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510485583.X2025-04-17CN120423855A2025-08-05曾墩风、王志强、鄢波、曾探18一种高迁移率高透过率氧化铟基靶材的薄膜制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510455801.52025-04-11CN120400757A2025-08-01曾墩风、方月、王志强、于庆萍19一种ITO靶材粉末的高效烧结方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510432912.42025-04-08CN120271336A2025-07-08武炳、王志强、马建保、曾墩风、徐军伟20基于电流煅烧的多孔结构低密度IWO蒸镀靶材制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510392643.32025-03-31CN120157506A2025-06-17曾墩风、王志强、鄢波、曾探、方月21一种低成本常压烧结制备高致密PZTO靶材的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510367642.32025-03-26CN120208669A2025-06-27曾墩风、王志强、鄢波、曾探、陈光园22一种ICO蒸镀靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510328276.02025-03-19CN120247556A2025-07-04曾墩风、王志强、鄢波、曾探、陈光园23一种圆筒靶材的装卸装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510298435.72025-03-13CN120229541A2025-07-01曾墩风、曾探、王志强、潘友华、徐军伟24一种高硬度平面溅射铜靶材的生产工艺发明专利授权CN202510195755.X2025-02-21CN119973560B2026-01-02曾墩风、张信征、王津津25不同比表面积氧化铟制备高密度旋转ITO靶材的方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510177891.62025-02-18CN119874333A2025-04-25武炳、马建保、曾墩风、徐军伟、王志强26一种高密度、高导电性、低电阻率IGZO靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510147506.32025-02-11CN119613093A2025-03-14曾墩风、王志强、鄢波、曾探27用于显示领域BM材料的氧化钼基靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510094607.92025-01-21CN119930284A2025-05-06王志强、曾墩风、鄢波、陈光园28高透光率和高导电性的AGZO靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510074196.72025-01-17CN119874350A2025-04-25曾墩风、王志强、鄢波、曾探29一种圆靶材检测设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510049630.62025-01-13CN119826710B2025-10-10曾墩风、曾探、王志强30一种圆靶材检测设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510049630.62025-01-13CN119826710B2025-10-10曾墩风、曾探、王志强31太阳能电池用高迁移率低接触电阻靶材及薄膜制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510030143.52025-01-08CN119822789A2025-04-15曾墩风、方月、王志强、曾探32一种金属平面靶材机加工定位固定装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411985887.42024-12-31CN119734215A2025-04-01屈一鸣、张信征、曾墩风33一种超大尺寸的平面靶装炉升降车实用新型授权CN202423231461.82024-12-26CN223737609U2025-12-30曾墩风、陈光园、王志强、曾探34一种高纯平面铜靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411914686.52024-12-24CN119800298A2025-04-11王津津、曾墩风、张信征35一种高精度靶材电阻率自动化测量系统与方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411887169.32024-12-20CN119804992A2025-04-11王志强、曾墩风、鄢波36一种溅射平面银铟合金靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411872480.02024-12-18CN119776777A2025-04-08曾墩风、张信征、王津津37一种台面滚轮工装车实用新型授权CN202423085622.72024-12-13CN223384497U2025-09-26石煜、曾墩风、杨超38一种IZrO靶材的制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411820332.42024-12-11CN119774981A2025-04-08曾墩风、王志强、曾探、陈光园、鄢波39一种纳米晶氧化镍靶材及其透明导电薄膜中的应用发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411801599.92024-12-09CN119797891A2025-04-11曾墩风、王志强、曾探、鄢波、闫清龙40一种IZrO透明导电薄膜及其制备方法和应用发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411762647.82024-12-03CN119553228B2025-09-23鄢波、曾墩风、王志强、曾探、陈光园41一种IZrO透明导电薄膜及其制备方法和应用发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411762647.82024-12-03CN119553228B2025-09-23鄢波、曾墩风、王志强、曾探、陈光园42一种低电阻高透过低铟靶材的制备方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411740214.22024-11-29CN119551981A2025-03-04曾墩风、于庆萍、王志强、曾探43一种具有导电性磷酸锂溅射靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411705187.52024-11-26CN119433410A2025-02-14石煜、曾墩风、王志强、杨超44IGZO薄膜质量评估方法及电子设备发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411673333.02024-11-21CN119534450A2025-02-28鄢波、曾墩风、王志强、曾探45一种旋转靶材绑定装置实用新型授权CN202422819556.52024-11-19CN223329374U2025-09-12曾墩风、屈一鸣、潘友华、王志强、王振宏46一种金属平面靶的翻转装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411636261.22024-11-15CN119491193A2025-02-21曾墩风、张信征、费唐兴、王津津、后雨疏47一种超声波高能砂磨机实用新型授权CN202422754748.22024-11-12CN223405336U2025-10-03鄢波、王志强、曾墩风、曾探、陈光园48一种减少ITO靶材二次相的方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411591980.72024-11-08CN119462125A2025-02-18王志强、曾墩风、鄢波、曾探、陈光园49一种ITO旋转靶材内圆调节定位支撑工装实用新型授权CN202422651761.52024-10-31CN223326127U2025-09-12潘友华、曾墩风、屈一鸣、汪大庆50一种回收焊接料过滤除杂装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411502157.42024-10-25CN119318828A2025-01-17潘友华、屈一鸣、曾墩风、汪大庆

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