你真看懂国产65纳米光刻机背后真实的意义吗？氟化氩光刻机的出现不仅仅标志着我国有

你真看懂国产65纳米光刻机背后真实的意义吗？氟化氩光刻机的出现不仅仅标志着我国有实力生产28纳米的芯片，最关键的是说明我国光刻机的产业链其实已经有一个质的升级。 我国早在十几年前就研发出了90纳米分辨率的光刻机，在2016年左右正式量产，至今已经过去8年时间了，我国光刻机一直停留在90纳米分辨率的节点上，这里面最直接的一个问题是，很多核心零部件跟不上，因为很多核心零部件我们国内没法生产，欧美又不愿意出口给我们，所以导致国产光刻机长期停滞在90纳米分辨节点上。 而这次65纳米分辨率的光刻机具备量产实力，其背后是国内光刻机产业链的升级，工业部在公布这两个光刻机的同时，其实有很多跟光刻机有关的重要零部件也实现了突破，包括氧化炉，涂胶显影机，高、低能离子注入机，物理、化学气相沉积装备等等都有了明显的技术突破，这些都是支撑国产光刻机能够达到28nm工艺的重要支撑。 我觉得对于欧美一些国家来说，他们真正害怕的并不是中国具备28纳米芯片的生产工艺，真正害怕的是背后的产业链，一旦中国的光刻机产业链持续完善，核心零部件持续突破，那未来中国迟早有一天能够独立生产EUV光刻机，如此一来，欧美的领先优势就会慢慢消失，这才是真正让他们胆颤的地方。