光刻机里程碑，工信部推广国产DUV光刻机：套刻≤8nm！（这也是假期发酵多的一个

海语聊商业 2024-09-17 21:34:20

光刻机里程碑，工信部推广国产DUV光刻机：套刻≤8nm！（这也是假期发酵多的一个热点）

按套刻精度与量产工艺约1：3的关系，这个光刻机大概可以量产28nm工艺的芯片，大致相当于20年前ASML的1460K。

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