静电放电(ESD)是电子元器件在运输、安装和使用过程中常见的一种现象,它可能导致器件损坏、性能降低或寿命缩短。因此,对电子元器件进行ESD试验至关重要,以确保其在实际应用中的可靠性和稳定性。AEC-Q102标准中包含了多种ESD试验,其中人体模型(HBM)试验是最为常见的一种。
什么是HBM试验?
HBM试验,即人体模型试验,是一种评估电子器件对由人体产生的静电放电的耐受能力的方法。在HBM试验中,模拟人体通过接触或近距离放电到器件上的情况。试验使用标准化的电荷传递模型和波形,以评估器件在不同电荷水平下的耐受能力。这种测试方法在JEDEC(电子元器件制造商协会)中得以规范化,是评估电子元器件ESD性能的重要标准之一。
以下为HBM试验的结果参考,根据不同电压划分成不同级别:

HBM试验目的
1. 评估器件的ESD耐受性:通过模拟人体静电放电,评估器件在实际使用中可能遇到的ESD事件下的耐受能力。
2. 确保产品可靠性:通过HBM试验,可以提前发现器件的弱点,从而在产品设计和制造过程中进行改进,提高产品的可靠性。
3. 满足行业标准:AEC-Q102标准要求电子元器件必须通过HBM试验,以确保其在汽车电子等领域的应用安全。
配备了先进的ESD测试设备,以满足AEC-Q102标准中的HBM试验要求。
1. LED抗静电能力自动测试系统:专门针对LED静电敏感等级判定要求及特点的自动分析测试系统。它能够实现LED静电、正向电压、反向漏电流测试等功能,快速判定和筛选LED静电敏感等级。

2. 静电放电模拟试验器:评估电气和电子设备、装置或系统遭受静电放电时的性能,满足IEC61000-4-2、ISO10605及GB/T17626.2等最新标准要求。

HBM失效机理及防护
HBM的失效机理主要源于其3D堆叠结构带来的热、电和机械应力挑战。失效机理核心在于:
1) 电迁移:TSV和微凸点因高电流密度和散热不佳,导致金属原子迁移,形成空洞或小丘,引发开路或短路。
2) 热机械应力:不同材料热膨胀系数不匹配,在温度循环下导致微凸点疲劳开裂、底部填充胶分层及TSV铜凸出。
3) 热耦合效应:堆叠结构阻碍散热,使底层DRAM温度过高,加速电介质击穿、晶体管老化和数据保持力下降。
针对这些挑战,防护措施是一个系统工程:
1) 架构设计:采用强大的错误校正码(ECC)和内建自测试与修复机制。
2) 运行监控:集成温度传感器,通过动态热管理实时调控功耗。
3) 先进制造与封装:优化TSV工艺,采用可靠的凸点与底部填充材料,并配备高效散热解决方案(如均热板或液冷)。通过这些多层次策略,共同保障HBM在高压、高温工作环境下的长期可靠性。